晶圓表面清潔度測試的標準和原理是什么？

晶圓表面清潔度測試通常采用粒子計數器進行測量。常見的標準是SEMI的標準，如SEMI F62、SEMI F65等。

SEMI F62標準規定了使用粒子計數器對晶圓表面進行清潔度測試的方法和要求，其中包括晶圓的清潔度等級、粒子計數器的校準、測試區域和測試參數等。

晶圓表面清潔度測試的原理是利用粒子計數器測量晶圓表面的粒子數量和大小，從而確定晶圓表面的清潔度等級。通常采用的粒子計數器包括激光粒子計數器和光學顯微鏡粒子計數器。在測試時，將晶圓放置在測試臺上，啟動粒子計數器進行測試。測試完成后，根據測試結果確定晶圓表面的清潔度等級，以便后續工藝操作的選擇和控制。